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中国科学院物理研究所。
来源:365bet赌场 作者:365bet新网址 发布时间:2019-06-28 阅读次数:443
卡尔蔡司显微镜美国离子技术研发中心
演讲者简介:
Tokoton,Ph.D。物理化学(1996年),首席研究,来自研究和技术开发中心Carl Zeiss USA的离子显微镜。
他曾在中国科学院山西煤化学研究所,中国科学院高技术研究开发办公室,新泽西匹兹堡大学技术学院和哈佛大学等大学和研究所工作。机构。
2006年初,他加入了Carl Zeiss EE。UU。,或者她是产品经理TEM,应用技术部门(北美)总监?研究微观场离子,他们目前是该中心的主要研究人员,以及离子显微镜技术的研发。
他们已发表近50篇学术论文,其中近10篇已发表在有影响力的学术期刊上,如细胞,自然材料,纳米字母,小型,先进材料和ACS-Nano。
报告摘要:
近年来,基于气相场(GFIS)离子源,高亮度(在109 A / cm 2)。
SR),一个小光束点?(0。
5 nm /氦离子束技术大部分已开发出来并用于微纳米工艺,特别是用于10 nm以下鳞片的表征和加工。性在纳米材料和纳米器件加工和表征领域受到广泛关注。
在本报告中,我们介绍了简单的技术,离子源气相和产生机理,特点及相关设备的束/离子原理,并详细介绍了技术应用的重要成果応用离子/加工微纳米..
重点研究亚10 nm规模的材料和器件直接加工技术,基于/离子束的离子束曝光技术,氖/氖束对材料的辐射损伤。表征离子,非导电性,磁性和生物材料的高分辨率图像,以及通过辐射/离子束注入改变材料/器件的结构和性质的新应用方向和领域。
本报告旨在通过了解纳米加工这项新技术的典型应用的基本原理和实例,为研究纳米级边界获得重要应用。它提供了。
受邀者:李俊杰(电话:9097)


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